盛美上海推出新式热原子层堆积立式炉设备

  盛美上海宣告，其对300mm Ultra Fn立式炉干法工艺渠道做了功用扩展，研制出新式Ultra Fn A立式炉设备。该设备能满意原子层堆积工艺的一同具有低累积膜厚气体清洗功用，确保颗粒的稳定性。首台Ultra Fn A立式炉设备已于本月底运往国内一家先进的逻辑制造商，并方案于2023年末经过验证。（科创板日报）

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